离子束电源适用于各类特种金属蒸发镀工艺。其可以使特种金属材料快速升温，使其面状蒸发，制备出的膜层洁净均匀。精新离子束电源提供多种波形与宽广的功率域供用户选择，可适应多种不同的工艺与需求。